1、机体、贮液箱：
本体和储液罐均采用不锈钢板结构，配有矩形钢管焊接架，具有保温保护，便于排水。碳氢清洗机全自动真空碳氢清洗机过程由PLC自动控制，设备生产主线由2真空脱气超声波清洗，1个强力真空超声波洗，2个蒸汽洗+真空干燥组成，其工作原理是利用超声波渗透力强的机械震动力冲击工件表面并结合碳氢清洗剂的化学去污作用，在真空状态下进行全面清洗，使工件表面和盲孔、狭缝干净。清洗设备厂家可用于替代人工来清洁工件表面 油、 蜡、 尘、 氧化层等污渍与污迹的机械设备。硅片清洗机半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。 清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。会导致各种缺陷。设有水位报警装置，便于完成水箱内的沉淀物。装有油水分离系统。
2、步进运送系统：
由制动减速电机、不锈钢输送链、不锈钢(轴承座)定位夹具、定位及信号装置等组成。整个输送系统控制与进给门、水泵、探头进给装置、工件压紧装置等联锁。以提高设备本身的安全性。
3、清洗系统：
由泵组、输液管路、冲洗头、喷咀、上下往复喷管等组成数据清洗技术系统。清洗可以分为二部分：一部主要分为不同表面没有清洗以及部分，二部分为内腔冲洗控制系统，清洗液可过滤净化，油水可分离。
4、雾气处理系统：
设备能对清洗所发生的雾气进行处理，通过风机将雾气抽吸通过冷凝处理后水蒸汽回至水箱，废气直接排放到室外。
5、电器控制系统：
本机选择PLC作为中心控制，具有手动调节、自动操作两种程序，在程序设计中采用相关程序互锁。电气部件运行牢固，过程调整方便，操作选择人机界面（触摸屏）。设置紧急停止按钮进入和退出口腔。
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