1、机体、贮液箱：
机身和储液罐也采用不锈钢板结构的矩形钢管焊接框架，具有隔热保护，方便排水。硅片清洗机半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。 清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。会导致各种缺陷。零部件清洗机是一种利用超声波、有机溶剂等用来清洗零件的机器。 有机溶剂在机械零件表面的清洗以去除污染物的工业应用已有很长的历史。工业清洗机主要是用于清洗零件，电路板，小型的部件。主要应用于军工，航天，汽车等行业。 主要是用于清洗零件，电路板，小型的部件。配有水位报警设备，方便清理水箱内的沉淀物。配有油水分离系统。
2、步进运送体系：
由制动系统减速以及电机、不锈钢公司运送链、不锈钢（承载托架）定位进行夹具、定位发讯设备等组成。整个企业运送服务体系内部控制与进步门、水泵、探针送进各种设备、工件压紧设备等在PLC程序上悉数构成互锁，以进步发展设备管理本身的安全性。
3、清洗体系：
清洗系统由泵机组、输液管道、冲洗头、喷嘴、上下往复喷嘴等组成。清洗分为两部分:一部分是外部清洗部分，另一部分是内腔冲洗系统。清洗液可以过滤净化，油水可以分离。
4、雾气处理体系：
设备可处理清洗产生的雾气，风扇经过冷凝处理后将雾气泵回水箱，废气直接排出室外。
5、电器控制体系：
本机选用PLC作中心进行控制，设有手动模式调整、主动学习运转二种程序，在程序可以设计上相关法律程序互锁。电器元件运转牢靠，工艺不断调整发展便利，操作人员选用人机管理界面（触摸屏）。进出料口设急停按钮。
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